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内容简介	近年来，由于微电子领域内薄膜材料科学技术的飞速发展，薄膜制备技术也得到了迅速发展，并在高技术、新材料的领域中起着举足轻重的作用。由于薄膜制备技术内容繁多，所涉及材料广泛，而且近年来发展迅速，不断地出现新技术、新方法，因此全面地研究薄膜制备技术是非常必要的。
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